apache 2.0.40です。

/cgi-bin/では動くんですが、
任意のディレクトリでは
エラー：Premature end of script headers: *.cgi
(LogLevelはdebug)が出てしまって動きません。


一応
<Directory />
Options FollowSymLinks ExecCGI
AllowOverride None
</Directory>

<Directory "/var/www/users/*/public_html">
AllowOverride FileInfo AuthConfig Limit
Options MultiViews Indexes SymLinksIfOwnerMatch ExecCGI
# <Limit GET POST OPTIONS>
# Order allow,deny
# Allow from all
# </Limit>
# <LimitExcept GET POST OPTIONS>
# Order deny,allow
# Deny from all
# </LimitExcept>
</Directory>

としているんですが。
文字コードやパスの問題かと思いましたが、
Cのコンパイル済みファイルでも同様でした。