>>21
>EBリソって技術としてはだいぶ確立されてきているような感があるし、
問題の生産性も面電子源なんかが出てくれば改善されていくのでは
ないかと思うんですが
それって電子線20本使った露光方法ってことですか。
もしそうなら生産性も上がるような気もするが、どうなんだろう。
>F2やEUVなんかは実現されるのかな？
EUVは知らんが、F2は着々と実用段階に入ってます。（一部実用化されてます。）
後は、デバイスメーカーが本格的にやるかやらないかでしょうね。
ただ、私は材料屋なんですが、やっぱり材料にも問題があるみたい。
後の詳しい解説は>>14さん、お願いします。

私も今年からレジストを始めた素人です。ちょくちょく意見交換をしましょう。