リソグラフィーについて語りましょう
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00011
NGNGhttp://science.2ch.net/test/read.cgi/bake/992368688/l50
ここで今、フォトレジストの話で盛り上がっていますが、スレタイとはちょっと別の方向に話が流れています。
そこで、ここに新しいスレを立てさせてもらいました。
材料の話が中心だったんですが、デバイスや光学系の話も議論されています。（結構ハイレベルだと思います）
そんなわけで材料屋さん、デバイス屋さん、光学系屋さん、装置メーカーさんなどのリソグラフィー技術に携わる方の参加をお待ちしております。
それぞれの視点の議論や質問で盛り上げましょう。
002321
NGNG＞それって電子線20本使った露光方法ってことですか。
そういう方法もあるんだけど、僕の言いたかったのは電子を面で放出するものです。
面の投影露光が出来るものが、世の中では開発されつつあるらしい。
ただ、EB露光には光と違って近接効果の問題がありますが・・
ここらへんもレジストで多少は解決出来るのではないかという気がする。
F2が一部実用化されているというのははじめて聞きました。
どこらへんで実用化されてるんでしょうか？
0024１
NGNG>そういう方法もあるんだけど、僕の言いたかったのは電子を面で放出するものです。
面の投影露光が出来るものが、世の中では開発されつつあるらしい。
へえー、そんな方法も開発されてるんですか。
ビームの形状を変える方法は知ってたんですが。
>ただ、EB露光には光と違って近接効果の問題がありますが・・
ここらへんもレジストで多少は解決出来るのではないかという気がする。
レジストを2層にする方法ですか？
近接場効果はレジストの中で起こる問題ですからね。
>F2が一部実用化されているというのははじめて聞きました。
どこらへんで実用化されてるんでしょうか？
はい、これは今年の2月頃にどこかで読んだ情報です。
ソースを出したいんですが、今見つかりません。
見つけ次第、ソースを貼ります。
0025名も無きマテリアルさん
NGNG0026名も無きマテリアルさん
NGNGフォトンエネルギーのでかいKrF、ArF、F2ならダイレクトで
レーザエッチングすればいいんじゃないかって思うのですが。
ダメなんですかね？
0027１
NGNG>無学で申し訳ないが、リソグラフってなんでわざわざ感光させてるんでしょう？
光酸発生剤で露光部と未露光部に溶解速度差が出てくる化学増幅の方が感度が良く、大量生産に向くからじゃないんですか？
>フォトンエネルギーのでかいKrF、ArF、F2ならダイレクトで
レーザエッチングすればいいんじゃないかって思うのですが。
ダメなんですかね？
レーザアブレーションですね。勿論、そういう方法もあります。
でも、その場合はフォトンが触媒（？）の役割を果たすことになりますよね。
光酸発生剤による酸触媒の方がフォトンよりも安価で済むので、化学増幅が主流になってるんじゃないのかな？
後は、レーザアブレーションでは露光中にレジストポリマーが分解して、アウトガスが出てきます。
これがステッパーやマスクの寿命を縮めてしまうというのも問題なんじゃないんでしょうか。
まあ、化学増幅でもアウトガスは問題になります。特に、Ｆ２レジストから出るフッ素ガスはクリティカルな問題だと言われています。
0028名も無きマテリアルさん
NGNG光源がレーザにかわってもその歴史背景から
具体的な用途用法は変わらなかった。とも考えられるのではないでしょうか？
コストに関しては、レーザアブレーションだとエネルギーをあげるだけでいいので、
エッチング溶液を使う化学増幅型よりも安いと思います。
ガスの問題はありそうですね。
0029１
NGNG>i線、g線から来る露光技術の歴史上、
光源がレーザにかわってもその歴史背景から
具体的な用途用法は変わらなかった。とも考えられるのではないでしょうか？
水銀灯は、塗料の硬化や印刷製版技術に使われていましたし、リソグラフィーはそれらの応用技術ですからねえ。
>コストに関しては、レーザアブレーションだとエネルギーをあげるだけでいいので、
エッチング溶液を使う化学増幅型よりも安いと思います。
レーザーの光強度を上げることで分解物の飛散が大きくなると思いますが。
それに、レーザアブレーションってそんなに高感度なものなのかなあ？
エッチング溶液（現像液のことだと思いますが）ってそんなに高価じゃないような気もするんですが。
>ガスの問題はありそうですね。
はい、ステッパーやマスクの耐久性が弱くなることで設備投資に金がかかり、デバイスメーカーが元をとれなくなる。
それも含めてＦ２はスキップすると聞いたことがあります。
0030名も無きマテリアルさん
NGNG技術の進歩は早いですね・・
00311
NGNGそうですね。液浸露光というこれまでとは違うコンセプトの方法が開発されたりとか。
材料の方もつい４年ほど前はF2に透明なポリマーは全くわかっていませんでしたから。
でも、私としては、更に短波長な露光光源に透明なポリマーはないと思います。
0032名も無きマテリアルさん
NGNGリソグラフィに比べて、アブレーションのいやなとこはなんといっても、
加工されたものが飛び散ることでしょうね。
それから、リソグラフィの露光に比べて、格段にパルスあたりのエネルギーが
必要なんで、大面積なパターン作製には向かないですね。
逆に多数の点に孔をあけるような加工であれば、アブレーションがいいんでしょう。
0033名も無きマテリアルさん
NGNG近接効果はレジストの中だけの問題じゃなくて、基板へ到達した電子が基板から
反射してくるという問題もあるよ。
0034１
NGNG>近接効果はレジストの中だけの問題じゃなくて、基板へ到達した電子が基板から
反射してくるという問題もあるよ。
エキシマレーザ露光のように反射保護防止膜でなんとかならないもんなんですか？
0035１
NGNG00361
NGNGところで、みなさんは来年の一月にある高分子学会が主催する「第13回光反応・電子材料研究会」に行かれます？
僕は仕事の都合がつくようなら行きたいと思います。
Ｆ2リソグラフィーやＥＢリソグラフィー、液浸リソグラフィーの話まであるそうです。
003727
NGNGレーザアブレーションによる飛沫物が出るというお話ですが、ガスでパージしてしまえばいのではないでしょうか？
まぁ、この辺の話はとっくに議論されていると思うのですが、疑問に思ったので一つ。
それと、NIKONがArF液浸露光の開発を決定しましたね。
http://ne.nikkeibp.co.jp/NMD/
00381
NGNG>レーザアブレーションによる飛沫物が出るというお話ですが、ガスでパージしてしまえばいのではないでしょうか？
まぁ、この辺の話はとっくに議論されていると思うのですが、疑問に思ったので一つ。
窒素ガスでパージしてるってことですか？私もここらへんはあまり詳しくはないんですが。
それから、今日から幕張メッセでセミコン2003が始まりますよね。
参加した人の報告を待ちます。
0039名も無きマテリアルさん
NGNGガス吹き付けるくらいなら真空にしたほうがいいでしょう。
00401
NGNGそれから、もうひとつ。
窒素ガスでパージすると、露光光源がF2の場合、光が窒素に吸収されるのでよろしくないと思います。
0041名も無きマテリアルさん
NGNG0042名も無きマテリアルさん
NGNGレーザーアブレーションなんぞでパターン切ろうとしたら
とんでもないことになるよ。飛沫物の運動エネルギーは
スパッタリング並かそれ以上なんで、まわりにぴっちり
こびりついて取れなくなるでしょう。超高圧のガスでパージ
してもだめでしょう。
>>39
真空なんかにしたらなおさら周りにこびりつきます。
有機物を感光させ、変質させて溶解速度差を利用するって
やり方はほんとによくできてます。これ以上の方法はなかなか
でてこないでしょう。EBにしろX線に液浸にしろ基本はずっと
前から変わってないですし、しばらくはこの路線いくのでしょう。
00431
NGNG0044名も無きマテリアルさん
NGNG39ですが、アブレーションをやってことありますか？
真空にしたら格段に違いますし、こびりつくというよりは
のっかっているという感じのほうが近いです。
0045名も無きマテリアルさん
NGNGでも、今更位置付け替えるなんてコスト的に不可能っぽいですね。
＞＞42さん
真空中でもレジスト等の物質はアブレーションされるのですか？
光化学反応で結合エネルギーを切るという話だけじゃなく、空気中の酸素と結びついて燃えるという形をプラスした方が
方がアブレーションレート稼げそうだと思うのですが。
00461
NGNG面白そうな話が出てるのでちょっと質問させてもらいますよ。
>光化学反応で結合エネルギーを切るという話だけじゃなく、空気中の酸素と結びついて燃えるという形をプラスした方が
方がアブレーションレート稼げそうだと思うのですが。
露光光源がＦ２だったら、酸素に光が吸収されることにより光化学反応が起こりづらい（もしくは起こらない）と思うんですが、
どうなんでしょう？それとも、酸素と結びづいて燃えるという方がアブレーションに対する影響が大きいんですか？
>レーザ当てる位置を上から下じゃなくて、下から上にあてる方法にすれば、飛沫はとびちらないね。
下から上にレーザ当てて光が基板を透過するんですか？
0047４２
NGNG違う現象を指しているような気がします。私の経験があるのは
製膜です。真空チャンバーに入れて、ターゲットをレーザでたたいて
対抗基板に積層させていくものです。かなりきっちり薄膜が積まれます。
エタノール＋キムワイプでごしごし拭いても取れません。
当然ターゲットは削れます。このターゲットの削れを加工に利用していこう
ということですよね？酸化物でしか経験ないので有機物でどうなるか
ちょっとよくわかりません。ご存知でしたら教えてください。
>>45
アブレーションは光化学エネルギーで結合を切るものではないです。
熱で切ります。一気に相当の光を照射し、一点集中で加熱させて蒸発
させるものです。あまり細かい加工には向いてなさそうな感じですが。
参考にここどうぞ。フェムト秒のレーザ使ってるようです。
光で切るとはいっていても本質は熱です。フェムト秒だと光があたった
場所以外に熱が拡散していかないため、熱に弱い試料でも加工できる
という利点があります。
ttp://www.me.tokushima-u.ac.jp/thesis/13b/H13B-009.pdf
下から上にレーザ当てるんなら、例えば液晶に使われるカラーフィルタの
作成なんていいかもしれません。あれは硝子基板ですし。解像度十ミクロン
もいりません。ただ基板は普通の無アルカリ硝子なんで可視のレーザしか
とおりませんが。いずれにしろ加工時間を考えると現実的じゃないですね。
光化学反応で変質させるレジスト方式と比較すると、熱で切っていく
アブレーション方式とではコストが違いすぎます。
0048名も無きマテリアルさん
NGNG下から上にレーザ当てるっていうのは、試料の設置を上にするということです。装置的に可能なのかどうかは
知りません。基板の下から透過させて照射するという意味ではありません。言葉足らずでした。
>>1さん
少なくとも私は燃えるという酸化現象がアブレーショでは大きいと思います。
でも、理想としては、熱や光によって切れてて欲しいとも思います。
F2に関してはよくわからないのですが、酸素によるエネルギーの減衰率って大きいんですか？
>>47さん
>真空チャンバーに入れて、ターゲットをレーザでたたいて
>対抗基板に積層させていくものです。
PLD(pulsed laser depositon)法ですね。
参考先の論文は試料が金属です。有機物であるレジストの組成は主にC-HやC-Cなので
KrF,ArF,F2の結合エネルギーで切ることはできるはずです。
確かC-Hで4eVぐらいArFで6eV、KrFで5eVだったと思います。
もちろん熱で切ってるのか光で切ってるのかはまだまだ議論の余地があると思いますが。
有機においてフェムトに関してはパルス幅が短く熱拡散が少ないからこそ
光で結合がきれているともとれませんか？
0049名も無きマテリアルさん
NGNGあんなもんダメですよ
コストはかかるしマスクはできないし
0050名も無きマテリアルさん
NGNG成膜の話であれば、もちろん真空のほうが効率がいいです。
42以前で話していたのはエッチングの話で、真空中やれば大気中で
やるよりもはるかに付着物は少ないですよ。
有機物のアブレーションですが、すでに出ているように結合エネルギーが
切れるほどの短波長かまたはフェムト秒のような短ぱるすであれば
なかなかきれいにアブレーションできます。
それ以外だと、加工部周辺が炭化しちゃいます。
それから、フェムト秒でアブレーションした際には有機物の組成があまり
崩されずに飛び散らすことが出来るため、有機物のデポジションが出来る
という素晴らしいこともあります。
0051４２
NGNGなりました。ありがと。
しかし、コスト的にはどうなのだろうか
00521
NGNG酸素存在下ではＦ２の波長付近の透過率が1%以下になってしまいます。(Schumann-Runge帯より）
大気中では、ＶＵＶ光が吸収されてしまうので、露光光源と基板付近では光強度に差が出てしまうと思います。
0053名も無きマテリアルさん
NGNG00541
NGNGドライエッチングの方がウェットよりもパターンがきれいになりそうですよね。
ドライエッチングのガスって酸素とテトラフルオロメタンの混合ガスですか？
00551
NGNGX線やEBは高圧水銀灯以前から注目されていましたからね。
X線やEBで感光させることってできるのかな？
0056名も無きマテリアルさん
NGNGEUVもそうですなぁ・・
>>55
まあ、X線やEBの場合は「感光」と呼ぶのかどうか微妙ではあるけどな
0057名も無きマテリアルさん
NGNG自分は、日経エレクトロニクスと日経デバイスを読んでます。
0058名も無きマテリアルさん
NGNG解像度がついていってないって話で、
根本的にわかってないのかもしれないんだけども、
普通に液レジをフィルム化したら駄目なのかなあ。
某機械メーカーでは、学術レベルでは発表があったって
言われたんだけども。担がれたかなあ。
0059名も無きマテリアルさん
NGNG論文書いていいですか？
00601
NGNGASMLのHPなんかはどうでしょうか？
ここに直リンすときますね。
http://www.asml.com/NASApp/asmldotcom/show.do?ctx=6018
0062名も無きマテリアルさん
NGNG塗布はどうするんかい。銀河の回転でスピンコートするのか？
0064名も無きマテリアルさん
NGNG00651
NGNGみなさん、今年もよろしくお願いします。
ということでage
00661
NGNG0067名も無きマテリアルさん
NGNG超遅レスだがエッチング知らなさすぎ。
エッチングで使われているガスが何種類あるか勉強してくれ。
CF4/Ar/O2プロセスは選択比が1に近い。こんなんでVia切れる訳ないだろ。
行程ごとに全部使いわけんだよ。
>>66
ﾊｧ。こんな過疎板で釣りしても釣果よくないよ。
http://www.nikon.co.jp/main/jpn/profile/technology/immersion/
0068名も無きマテリアルさん
NGNG0069名も無きマテリアルさん
NGNG●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●
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●●●●●●●●●●●●●●●●不合格●●●●●●●●●●●●●●●●●
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これを見た人は確実に【不合格】です。これをコピペでどこかに３回貼れば回避できます。
これは本当です。やらないと一年無駄になります
0070名も無きマテリアルさん
NGNG●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●
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●●●●●●●●●●●●●●●●合格●●●●●●●●●●●●●●●●●
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●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●
これを見た人は確実に【合格】です。
0071名も無きマテリアルさん
NGNG00721
NGNG>>67
私は材料屋でしかも素人なので、プロセスにはそんなに詳しくはないので
そこらへんは大目にみてやってください。ところで、デバイス屋さんですか？
まあ、半導体製造用ガスでも多くの開発があるということを聞いたことはありますが。
>>68
あれは、私も読みました。色々勉強できたと思います。（てか、結構常識的なことばかりですか？）
00731
NGNGリソグラフィーだけではなく、半導体製造工程全体を見なくてはならないということがわかりました。
0074名も無きマテリアルさん
NGNG0075名も無きマテリアルさん
NGNGArFの液浸でウッドボールなの？
0076名も無きマテリアルさん
NGNG0077名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://www.edresearch.co.jp/FocusRepo/hikaririso.html
こんなの見つけたけど、ボリュームが少ないのが気になるので。他のやつ紹介してつかあさい。
予算10ﾏｿぐらいまでで。
0078名も無きマテリアルさん
NGNG0079名も無きマテリアルさん
05/01/21 06:54:54構造のあるデバイスの表面だけにマスクをつけたいのだが。。。
無機レジスト・・これに詳しい方おらんかね〜
0080名も無きマテリアルさん
05/01/22 08:18:480081名も無きマテリアルさん
05/01/30 11:26:01ステンシルマスクつかったら?
0082名も無きマテリアルさん
05/01/30 23:05:54集積回路プロセス技術シリ−ズ 産業図書
半導体リソグラフィ技術 ￥3675
どうだ？
008379
05/01/30 23:15:11そうなりますか。
蒸着物の回りこみがちょっと気になるんだけど、その方向で今動いてます。
レスありがとうございます。
0084名も無きマテリアルさん
2005/12/26(月) 20:42:210085名も無きマテリアルさん
2006/03/15(水) 23:26:470086名も無きマテリアルさん
2007/03/23(金) 21:39:43【あだ名】１
【性別】１
【年齢】１
【身長】１
【体重】１
【有名人で言うと誰に似ているか】１
【住んでる所】１
【趣味】１
【特技】３
【口癖】３
【好きな食べ物】３
【好きな人】１
【好きなスポーツ】１
【好きな映画】１
【好きなアニメ】１
【コンプレックス】１
【主な仕事】１
【秘密にしている事】１
【顔写真】１
【ブロマイド】１
【イメージ顔文字】１
0087名も無きマテリアルさん
2007/04/08(日) 00:00:380088名も無きマテリアルさん
2007/05/28(月) 17:16:040089名も無きマテリアルさん
2007/07/05(木) 23:13:080090名も無きマテリアルさん
2007/07/15(日) 06:35:210091名も無きマテリアルさん
2009/07/15(水) 12:36:250092名も無きマテリアルさん
2009/07/25(土) 22:29:38http://namidame.2ch.net/test/read.cgi/hidari/1225537555/
0093cHQxDMuG
2009/09/15(火) 23:26:39
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