Ｓｉ基板に溝？

[0001 名も無きマテリアルさん 01/08/28 09:41 ID:zmcebbL2]

Ｓｉ基板（ウエハ）に溝を入れるような加工品があるんだけど、
これはどんな用途で使われるんでしょうか？

[0002 名も無きマテリアルさん 01/08/28 10:17 ID:81qMVKCk]

いろいろありすぎてそれだけじゃわかんないよ。
多分、光通信関係だと思うけど...。

もっと詳しく教えてみそ。
クライアントの名前を出せばなお結構（藁

[0003 名も無きマテリアルさん 01/08/29 10:54 ID:OaSmh4wg]

１です。レーザー関係に用いたいとの話です。その上にさらに層を積み重ねていきたいとか・・・
ちなみにその溝が何個もあって、その基板を横から見ると櫛状になるような加工
なんです。ど〜いうものでしょうかね？

[0004 名も無きマテリアルさん 01/08/29 11:00 ID:seElgv62]

＞３
溝の寸法やピッチは如何ほど？

[0005 名も無きマテリアルさん 01/08/29 11:54 ID:OaSmh4wg]

ピッチ幅がめちゃ狭い。１μm溝の高さは１００μｍ

[0006 名も無きマテリアルさん 01/08/29 16:22 ID:JWYbp.ys]

＞１
薄膜の埋め込み性とかカバレッジ見るのにガンガン使ってます。
アスペクト５ぐらいだけど。１０ぐらいのヤツは論文とかでしか見たことない

[0007 名も無きマテリアルさん 01/08/29 23:47 ID:iBqBcYPA]

＞5(=１）
ん？１μm幅で深さ100μmの溝を複数本入れてるって事？
その溝と溝との間隔(=ピッチ）はどのくらいなの？
って優香、そもそも1μm幅×深さ100μmの溝ってどう
やって加工するの？Deep-RIE?(そんなん外注するか？）

[0008 ◆SoLltofY 01/08/30 01:47 ID:8lEcA/rM]

test

[0009 ◆31SOL0D. 01/08/30 01:48 ID:8lEcA/rM]

$$$

[0010 ◆v9vysR.k 01/08/30 01:48 ID:8lEcA/rM]

j

[0011 名も無きマテリアルさん 01/08/30 08:57 ID:yyQWxwBg]

1=5=11です！！
そうなんです！１μピッチ幅ごとに１μ幅の高さ１００μの溝を
つけられないかって話があってね、１０マイクロ幅ならエッチン
グで可能なんだけど、１μは無理なんだ。何の用途かもはっきり
しないからどうしたもんかなと・・・

[0012 名も無きマテリアルさん 01/08/30 13:17 ID:NrWMiskk]

＞11(=1)
７ですけど、1μ幅-100μ深さができないのは分かるん
ですが、10μ幅-100μ深さのエッチングなら外注で
やっていただけるんですか？ドライエッチング？

クライアントの用途はレーザー関係と言っているなら、
それ関係ですかね？私は詳しくないんで知りませんが。
マイクロリアクターのチャネル部に思えなくもないで
すけど...。

[0013 名も無きマテリアルさん 01/08/30 17:52 ID:.EoAB6/A]

1です！！ええ、エッチングなら外注でやってもらえるそうですよ〜
某メーカーで話は聞きました。
マイクロリアクターってどういうものなんですか？

[0014 ◆Ym.cFSPE NG NG]

[0015 名も無きマテリアルさん NG NG]

おらっ

[0016 名も無きマテリアルさん NG NG]

tet

[0017 ◆GEX.HDlw NG NG]

テスト

[0018 名も無きマテリアルさん NG NG]

１μm溝の高さは１００μｍのオーダーならMEMSに使用するんじゃないのかな

[0019 qq NG NG]

http://muvc.net/jsweb/profiles.html

[0020 ◆1eNMzTCvpM NG NG]

te

[0021 ◆1eNMzTCvpM NG NG]

t

[0022 ◆rI8s23SQBA NG NG]

t

[0023 山崎渉 NG NG]

（＾＾）　

[0024 山崎渉 NG NG]

（＾＾）

[0025 山崎渉 NG NG]

　　 ∧＿∧
　　（　　＾＾ ）＜ ぬるぽ（＾＾）

[0026 山崎渉 NG NG]

━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅（＾＾）]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

[0027 山崎渉 NG NG]

　　　 　∧＿∧
ﾋﾟｭ.ｰ　(　　＾＾ ） ＜これからも僕を応援して下さいね（＾＾）。
　　＝〔~∪￣￣〕
　　＝ ◎――◎ 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　山崎渉

[0028 山崎 渉 NG NG]

　__∧＿∧_
　|（　　＾＾ ）|　＜寝るぽ（＾＾）
　|＼⌒⌒⌒＼
　＼ |⌒⌒⌒~|　　　　　　　　　山崎渉
　　 ~￣￣￣￣

[0029 山崎 渉 NG NG]

　__∧＿∧_
　|（　　＾＾ ）|　＜寝るぽ（＾＾）
　|＼⌒⌒⌒＼
　＼ |⌒⌒⌒~|　　　　　　　　　山崎渉
　　 ~￣￣￣￣

[0030 名も無きマテリアルさん NG NG]

　　　　　　 _,.､-t―､‐t- ､._
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　　 ./ i　　　　　　　　　　 　 　 !ヽ
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　 　 l　l　　　　　　　　　　　　　 l　i
　　　i　.l 　 　 　人＿人 　 　 　l. /
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　　　 　 ヽ　　　 /_二_ヽ　　　 l
　　　　　 ヽ 　　　　　　 　 　 /　
　　 　 　 　 ヽ　 　 　　　　.／
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[0031 名も無きマテリアルさん NG NG]

　　　　　　 _,.､-t―､‐t- ､._
　　　　 ,.rﾍ　　　　　　　　　ヽ、
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　　　　i　　　　　　　　　　 　 　 !
　　　　l　　　 　 　 　 　 　 　 　 l
　　　　l 　jillll:''''"　　　　"'''':llli;;　!
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　 　 l　l　　　　　　　　　　　　　 l　i
　　　i　.l 　 　 　人＿人 　 　 　l. /
　　　 ヽ ! 　 　/::::::::::::::::ヽ　 　 r'´
　　　 　 ヽ　　　 /_二_ヽ　　　 l
　　　　　 ヽ 　　　　　　 　 　 /　
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[0032 ぼるじょあ ◆yBEncckFOU NG NG]

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ﾋﾟｭ.ｰ　（　 ・３・） (　　＾＾ ） ＜これからも僕たちを応援して下さいね（＾＾）。
　　＝〔~∪￣￣￣∪￣￣〕
　　＝ ◎――――――◎ 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　山崎渉&ぼるじょあ

[0033 ３３ NG NG]

３３

[0034 山崎 渉 NG NG]

　　　 (⌒V⌒)
　　　│ ＾ ＾ │＜これからも僕を応援して下さいね（＾＾）。
　　⊂|　　　　|つ
　　　（＿）（＿）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　山崎パン

[0035 ◆9dYLE8z3D6 NG NG]

35

[0036 ©αω NG NG]

36

[0037 名も無きマテリアルさん NG NG]

いいスレだから盛り上げようぜ

[0038 名も無きマテリアルさん 2005/05/01(日) 11:15:44]

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【ラッキーレス】
このレスを見た人はコピペでもいいので
10分以内に3つのスレへ貼り付けてください。
そうすれば１４日後好きな人から告白されるわ宝くじは当たるわ
出世しまくるわ体の悪い所全部治るわでえらい事です

[0039 名も無きマテリアルさん 2005/07/19(火) 19:46:24]

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[0040 名も無きマテリアルさん 2005/07/19(火) 20:02:48]

Ｖ溝だったら光関係と思う

[0041 名も無きマテリアルさん 2005/12/13(火) 08:18:24]

si〜お〜れたちは〜

[0042 名も無きマテリアルさん 2005/12/13(火) 13:47:04]

このカキコを見たあなたは４日後不幸が訪れ４４日後死にます。
それがいやならこれをコピペして５ヶ所にカキコしてください。
私の友達はこれを信じず、４日後に親が死にました。
４４日後友達は行方不明に・・・・
いまだてがかりもな
＜私はこのコピペを５ヶ所にはりつけました。すると７日後にかれしができ
10日後大嫌いな人が事故で入院しました。
しんじるもしんじないは勝ってです。

[0043 名も無きマテリアルさん 2006/06/04(日) 12:44:17]

http://academy4.2ch.net/test/read.cgi/philo/1136149825/150

[0044 softbank220046082130.bbtec.net.2ch.net 2006/09/10(日) 17:34:53]

erolist erolist

[0045 名も無きマテリアルさん 2007/06/26(火) 01:59:43]

　　　　　　　　　　　　_,,.. -──-- ､..,__
　　　　　　ﾄ､　　 ,. '"　　　　　　　　　　 ｀'' ､
　　　　　　|::::ヽ7　　_､_,.ゝ-‐-､.,__　　　　　 　ﾄ､/i
　　　　　 「＼_,! ｒ'_7-─'ｰ-へ.,__7-､.,___ノ 　 |:::::/ヽ___
　　　　 ∠_:::ｒ‐ｧ'"　　　　/´ 　　､`ｰへ７ｰ-､|／:::::::／
　　　　　 く ７´ /　 !　!　 !　　 　 ',　　　 `ヽ/ｰ-､-'i
　　　　　　 `i　 !　 /ヽ!､_ﾊ. 　!　　ﾄ､!　 ﾊ　 ヽ._/､ｲ
　　　　　ﾄ､, レﾍノi'!ｧ'r-;､ |　ﾊ　_ﾉ_」,.ｨ'　i　　 i　 ﾄ､
　　　　　i　 ヽ,r'ｰﾊ!　! c|`ﾚ'　'ｧｰr--=r､|　ﾊﾉ､__ソ､
　　　　　ヽr,く,__ﾆ7,,,, `ｰ'　　　 　 !　 ｃﾘ ﾚ'　ﾊ　　ﾉ ﾊ　　　　　　,./
　　　　　 ﾉ !､,_二ﾄ､　　　　　　 　 `'ｰ''r'ｰ-=ﾆ7＜彡'､._,,.. -‐''" /
　　　　　 `ﾝ､.,二ﾝ i＞ ､　 ^　 　　"",.ｲｰ--=rゝく二ン´　　　／　　　だっせー
　　　　　　)ﾍ.,__r'ヽ/ 　 i｀`iｧ-=＝7´/ !二___ﾝ´　 )'　　　,.: '´
　　　　　　　　ソ`r'i　　ｒ'ヽr､,.-‐ｧ' /　　）-'ヽ.__,,.. -‐''"´　　　　　　　　晒しage
　　　　　　　　 ,. -`ﾄ､　!:::-ﾝ､ｰ::::i-'　　　　 　':,
　　　　　　　＜__/:::`i＞ｒ'」　!ゝ::;」-､_　 i　　　.ゝ､
　　　　　　 　ｒ'_,.>-‐|　 　', ｉ　/ `ｰへ二ゝ､r'_/-'
　　　　　,.r'「´_,,. -‐'|　 　 Y /　　　　,ﾊ/､::::::7　｀''ｰｧ
　　,.--､!」　 　　 ／ゝr-‐'ﾊ'--､.,_　/　　　｀''く＞-'‐‐ｧ
　　i　　 ヽ-､　　　　　`ー' ゝ､.,_ン',!-､　　　 　｀ヽﾄ､」
.　　':,　　 Y,」>-､,__/　ﾉ>-ｧ　　　/ 　　Y　 　　 ヽ､!」
　　　ヽ.,__ﾉ-'ゝ-r-へ､.,｀'__　　r7　　　,'　 　　__,ｒ/r'
　　　　　　　　 　｀￣^'ｰ-/二７i　 　 /___,rﾆ7--'´
　　　　　　　　　　　　　　　　　 `''ｰ‐'

[0046 名も無きマテリアルさん 2007/06/26(火) 02:01:09]

　　　　　　　　　　　　_,,.. -──-- ､..,__
　　　　　　ﾄ､　　 ,. '"　　　　　　　　　　 ｀'' ､
　　　　　　|::::ヽ7　　_､_,.ゝ-‐-､.,__　　　　　 　ﾄ､/i
　　　　　 「＼_,! ｒ'_7-─'ｰ-へ.,__7-､.,___ノ 　 |:::::/ヽ___
　　　　 ∠_:::ｒ‐ｧ'"　　　　/´ 　　､`ｰへ７ｰ-､|／:::::::／
　　　　　 く ７´ /　 !　!　 !　　 　 ',　　　 `ヽ/ｰ-､-'i
　　　　　　 `i　 !　 /ヽ!､_ﾊ. 　!　　ﾄ､!　 ﾊ　 ヽ._/､ｲ
　　　　　ﾄ､, レﾍノi'!ｧ'r-;､ |　ﾊ　_ﾉ_」,.ｨ'　i　　 i　 ﾄ､
　　　　　i　 ヽ,r'ｰﾊ!　! c|`ﾚ'　'ｧｰr--=r､|　ﾊﾉ､__ソ､
　　　　　ヽr,く,__ﾆ7,,,, `ｰ'　　　 　 !　 ｃﾘ ﾚ'　ﾊ　　ﾉ ﾊ　　　　　　,./
　　　　　 ﾉ !､,_二ﾄ､　　　　　　 　 `'ｰ''r'ｰ-=ﾆ7＜彡'､._,,.. -‐''" /
　　　　　 `ﾝ､.,二ﾝ i＞ ､　 ^　 　　"",.ｲｰ--=rゝく二ン´　　　／　　　　くそ・・・
　　　　　　)ﾍ.,__r'ヽ/ 　 i｀`iｧ-=＝7´/ !二___ﾝ´　 )'　　　,.: '´
　　　　　　　　ソ`r'i　　ｒ'ヽr､,.-‐ｧ' /　　）-'ヽ.__,,.. -‐''"´
　　　　　　　　 ,. -`ﾄ､　!:::-ﾝ､ｰ::::i-'　　　　 　':,
　　　　　　　＜__/:::`i＞ｒ'」　!ゝ::;」-､_　 i　　　.ゝ､
　　　　　　 　ｒ'_,.>-‐|　 　', ｉ　/ `ｰへ二ゝ､r'_/-'
　　　　　,.r'「´_,,. -‐'|　 　 Y /　　　　,ﾊ/､::::::7　｀''ｰｧ
　　,.--､!」　 　　 ／ゝr-‐'ﾊ'--､.,_　/　　　｀''く＞-'‐‐ｧ
　　i　　 ヽ-､　　　　　`ー' ゝ､.,_ン',!-､　　　 　｀ヽﾄ､」
.　　':,　　 Y,」>-､,__/　ﾉ>-ｧ　　　/ 　　Y　 　　 ヽ､!」
　　　ヽ.,__ﾉ-'ゝ-r-へ､.,｀'__　　r7　　　,'　 　　__,ｒ/r'
　　　　　　　　 　｀￣^'ｰ-/二７i　 　 /___,rﾆ7--'´
　　　　　　　　　　　　　　　　　 `''ｰ‐'

[0047 名も無きマテリアルさん 2008/10/18(土) 01:24:02]

終わるなら明日終わりたい

[0048 名も無きマテリアルさん 2008/10/19(日) 21:22:20]

穏やかに離れていこう…

[0049 名も無きマテリアルさん 2008/11/03(月) 16:09:13]

これでいいんだ
元々俺になんて何もない

[0050 名も無きマテリアルさん 2008/11/06(木) 00:40:52]

これでいいんだ…

[0051 名も無きマテリアルさん 2008/11/08(土) 01:42:42]

さよなら

[0052 名も無きマテリアルさん 2008/11/08(土) 22:21:09]

最低の１日だった
死にたい

[0053 名も無きマテリアルさん 2008/11/16(日) 03:14:41]

何もかももう嫌だ
誰か助けてくれ

[0054 名も無きマテリアルさん 2008/11/23(日) 16:21:18]

死にたい

[0055 名も無きマテリアルさん 2008/12/05(金) 22:09:34]

頼むから死なせてくれ

[0056 名も無きマテリアルさん 2008/12/19(金) 22:59:41]

もう生きていたくない
死にたい、死ぬのが１番いい

[0057 名も無きマテリアルさん 2009/01/04(日) 22:06:22]

終わっちゃった…
最高に欝

[0058 名も無きマテリアルさん 2009/01/10(土) 22:26:12]

心が寒い
死にたい
そう思わない日がない

[0059 名も無きマテリアルさん 2009/01/18(日) 01:02:59]

何で生きてるんだろう

[0060 名も無きマテリアルさん 2009/01/25(日) 01:28:19]

死んで終わって
もうそれでいいじゃないか

[0061 名も無きマテリアルさん 2009/03/09(月) 20:18:43]

鬱すぎる
もう本当に死なせて

[0062 名も無きマテリアルさん 2009/03/16(月) 23:52:40]

本当にもう死なせて
頼むわ

[0063 p2155-ipbfp4002osakakita.osaka.ocn.ne.jp 2009/05/02(土) 13:11:40]

test

[0064 名も無きマテリアルさん 2009/05/16(土) 16:12:22]

イキロ

[0065 名も無きマテリアルさん 2009/05/17(日) 11:01:15]

DFBレーザーじゃね

[0066 名も無きマテリアルさん 2009/05/26(火) 23:12:13]

ここも見つかったか
引っ越そう

[0067 名も無きマテリアルさん 2009/08/21(金) 22:17:27]

>>42
そのコピペよく見かけるんだけど、もう見て一年くらい経ってるけど（最初の）
何にもおこらない
コピペなんて夢の話
ネットで人生左右されたら人間終わり

でしょ？