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EDXとは?

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0001名も無きマテリアルさんNGNG
EDXについてお教え下さい
0002名も無きマテリアルさんNGNG

        (⌒Y⌒Y⌒)
      /\__/
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  (⌒ /   (・)  (・) | ∩
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  ( |    ___ | ..| |  <  逝って
     \   \_/  /  | |   \ ヨシ
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0003名も無きマテリアルさんNGNG
さらにEPMAとのちがいについてもできればおねがいします。
0004名も無きマテリアルさんNGNG
ここでも見とけ。

http://www.dent.niigata-u.ac.jp/epma/EPMA.html
0005NGNG
もっと分かりやすく説明しろ( ゚Д゚)ゴルァ!!
0006名も無きマテリアルさんNGNG
助かりました。ありがとうございます。
0007名も無きマテリアルさんNGNG
>>1
>>3
これまた酷いスレを立てたねえ。
ネタのような気もするが。

EPMAはEDX、WDXの総称。
但し、最近はWDXの意味でEPMAと呼称しているケースが結構多い。
EPMAは、電子線によって励起された電子が落ちる際に放出する
特性X線を測定して、元素を同定し、その強度比から組成を
割り出す分析方法で、大体のSEMに組み込まれてる。
EDXは、特性X線の測定にシンチレーションカウンターを利用して、
X線光子のエネルギーを測定する。
WDXは、既知の格子定数を持つ回折格子でゴニオをまわして、
その回折角度からX線の波長を測定する。
(波長とエネルギーは、お互いに関数だから、
結局は同じものを別の見方で測ってることになる。)

一般的特徴として、EDXは測定時間が比較的短く、
位置分解能が高いが、エネルギー分解能が低く、軽元素が苦手。
WDXは大体その逆。
あと、EPMAの全体的特徴として、狭くて、やや厚みを持った領域の分析になる。
これは、入射が電子線で検出がX線である分析方法の特徴。
電子線は運動量が小さいために、十分加速された状態じゃないと
貫入出来ないし、脱出できない。
但し、磁気レンズを利用して収斂させることが出来る。
X線は運動量が大きいために、貫入も脱出も深くなる。
但し、基本的に適正なレンズが無いため、狭い領域の分析は苦手。
だから、数μm以下の厚さのものをEPMAで分析するときには
下地の影響を考慮しておくべき。

他によく併用される励起エネルギーを利用した分析方法は、
ESCA(XPS)、AES辺りかなあ。
他にもイオン励起を利用するものとか色々あるみたいだけど、
あんまり馴染みが無い。
00087NGNG
出遅れ〜。
0009名も無きマテリアルさんNGNG
>>7

-=-‐〜--へ__,,- 、
      <        ヽ   ゝ
       ノ    二、___ゝ,/_/ヘ  |
      |    ヲ          | |   / ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄
      |    ┤  ===、 , ==|  | <  感動した!
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      く   .^|        - ゝ
       ヒi_,| \l  [ ――.|
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        |__,\  / ̄〕/ 、/
0010名も無きマテリアルさんNGNG
7さんはすごいねえ・・・
いったい何処の所属なんだい?
確かに1はドキュソ丸出しだけど、あんたみたいに簡潔に説明できる人も
なかなかいないねえ。この説明でわかんないやつはいないだろうな。
0011NGNG
>>10
まず、お前から言え。
001210NGNG
俺は北大工学部材料工学科だけど何か?
00137NGNG
>>10
お褒めはとても嬉しいんだけど、
材料屋としては一般教養レベルの知識ですね。

メーカー在勤で溶解屋になるのかな、一応。
とても、名乗れるレベルのレスじゃないですんで、これぐらいで。

>>11
そういう貴方は?
0014名も無きマテリアルさんNGNG
>1
本調べて正確な知識を持っておいたほうがよいとおもうけど。
7は、いくつか間違った点があります(シンチ、回折格子など)
00157NGNG
>>14
ご指摘ありがとう。勉強になります。

で、確認しました。

シンチレーションカウンター→半導体計数管
真空管とトランジスタみたいな違いがある。
後者の場合には、熱雑音を除くために、液体窒素冷却が必要、前者は不要。
シンチの方が広帯域だがエネルギー分解能は半導体係数管の方が高い。
って理解で合ってますか?

回折格子の方は良く分からないのですが、結晶と呼ぶべきだったんでしょうか?
それとも、もっと根本的に理解不足なところがありますでしょうか?
よろしければ、解説してもらえると助かります。

他にも間違えている認識があれば、指摘していただけるとありがたいです。
0016名も無きマテリアルさんNGNG
>10
北大材料のどの分野よ?
強度か?機能か?組織か?表界面か?それとも極限か?
って、全部挙げてたらきりがないから、やめとこう
0017名も無きマテリアルさんNGNG
>>7,>>15 根本的に理解不足だと思います。普段だったら、放って置くのですが、「ありがたい」とあるので、指摘します。

まず最初の「EPMAはEDX、WDXの総称」って部分。
EPMAとEDX、WDXは別のものです。EDX,WDXとは、X線の分光方法の呼び名ですので
決してEPMAに限ったことではありません。X線励起(XRF)、イオン励起(PIXE)の際も
出てきたX線をこのどちらかで分光しています。
ちなみに、火星に行ったマーズ・パス・ファインダー号には、EDXのPIXE装置が搭載されてました。

次に
「EPMAは、電子線によって励起された電子が落ちる際に放出する 特性X線」の部分も間違いです。
電子励起によって生成された電子空孔に、より外郭の軌道電子が落ちる際に特性X線が放出されるのです。
EPMAの場合、特殊なことをしない限り、励起された電子が、自身の空孔に落ちてくることは無いでしょう。
またその場合、特性X線とはなりえません。

次にこれは間違いではないんですが、EPMAの用途はは元素分析に限らないってことです。WDXで行なう場合、分解能がEDXに比べ格段によいためXPSや、APSのように、電子状態についての知見が得られます。

回折格子についてですが、一般にはEPMAには使われません。しかし、最近、軟X線用に、回折格子による分光系をEPMAに導入したという話を聞いたことはありますが・・・
00187NGNG
なるほど。
大変勉強になりますね。

XRFぐらいならまだ馴染みがありますが、
PIXEなどは名前ぐらいしか聞いたこと無いですので、
ピンと来てなかったです。
言われてみれば、励起光源が電子ビームに限ったものでは無いのでしょうが。
ちなみに、メタル屋でPIXEなどを使っているケースなどは、結構出て来ているのでしょうか?
AES程度でさえ、ちらほら見るようになったなあという印象なのですが。
ご存知の報告例などがあれば、ご紹介下さい。

特性X線についてもご説明の通りですね。落ち幅が一定でないと波長が定まりませんから、
各元素軌道間の固有値にならないですよね。いい加減な説明でした。
ごめんね>>1

WDXによる電子状態の解析というのは一応聞いたことがありましたので、
分析領域の話の最後にESCAなどとの比較の形で挙げようかなとも思ったのですが、
状態分析が可能な程エネルギー分解能が高いと言っても、ESCAにはとても及ばないと聞いて
おりましたので、割愛しました。
ただ、自分が知っているのは、もう7〜8年ぐらい前に、材料系専攻科目の極一部として勉強した
時の情報だけですので、最近はESCAレベルに近づいているなどのトピックス的な話でもあれば
ご紹介下さい。

あと、回折格子というのは、通常の分析用結晶(LiFとかが使われていると聞いてますが)とは異なるものなのでしょうか?
単純に分光に使用する既知の格子定数を持った結晶という程度に認識していましたが、
この文面を見る限り、別物のようですね。

蒙を開いていただけると、とても嬉しいです。
0019夏厨17号NGNG
EPMA = エレクトロンプローブマイクロアナリシス=電子励起微小領域分析法
EDX =エネルギー分解X線分光法
WDX =波長分解X線分光法
でいいんでしょうか。
>15さん
半導体検出器ってSSD(そりっどすてーとでぃてくた)とか
SSBD(固体ショットキーバリアディテクタ)とかいうと思うのですが管じゃないので
計数管っていわないという気がします。
>17さん
マーズパスファインダーのPIXEのイオンソースって放射性同位体?ですか
002017NGNG
>19
>マーズパスファインダーのPIXEのイオンソースって放射性同位体?ですか
なんだったか忘れましたけどそうです。それでRBSもやったらしい。
NASAの奴は、ノイズを避けるために、火星の夜の時間に測定したと言っていた。
ditectorも、Siを使っているので、普通のSi(Li)のSSDとは違い、ペルチェで冷やすぐらいでいいそうだ。
それで、Si(Li)とほとんど同じ分解能、しかも安いと聞いた。俺もほしい。
やっぱ.管じゃ無いよね。あと、エネルギー分解ではなく分散です。WDXも分散。



0021名も無きマテリアルさんNGNG
>7
XPSとEPMAの状態分析は目的が異なります。
XPSは分析領域が薄く定量性が低いためバルクの分析にはむいていません。
その代わり表面の分析感度は高く、表面の酸化層などの分析に向いています。
EPMAの場合バルクの分析が可能でありきちんとした手順を踏めば高い定量性が
得られるため酸化物と非酸化物の割合を求める事も可能です。
いずれにせよX線や電子線、イオンビームの照射により試料の状態が変化する事を
念頭に置いた解析が必要です。

>>20
SiデテクタのEDXも出てたはずだよ。
メーカーとか忘れたけど、以前SEM-EDXの更新時に
売りこみがあった気がする。
でも安くは無かったな。
それから計測管を使うのはWDXの方だよ。

あとEDXとWDXを比較するなら分析領域(大きい方)に触れないとね
EDXは電子の取り入れ角を大きく出来るからかなりの面積(低倍率)でも
分析が可能だけど
WDXは試料と結晶とデタクタがローランド円上にないと出来ないし
電子線の取り入れ角も小さい。
このため帯状の分析可能位置が出来る(JEOL)。
マッピング取る時は気を付けてね。
1度、これ知らない奴が(他社)「中央偏析があります。」とか逝って
クレームつけてきたのには笑ったけど。
002217NGNG
>18
原理的に、X線分光は分解能では原理的にXPSにはかないません。その差は広がる一方。
しかし、価電子帯の分析において、X線分光はそれぞれの原子ごとの情報を別々に測定できる利点がある。
(このあたりは、XPSよりUPSの領域といった方が良いのでしょうが・・)
XPSだと内殻のケミカルシフトを見るという使い方が普通でしょうから、一般的にはXPSの方が有利かな?

トピックとしてはESCAではないが、放射光を使った実験手法が発展してきている。PRL 74 478はその走り。

回折格子と分光結晶は全くの別物です。
回折格子は、何らかの表面に横方向の溝をつけたものです。その溝の間隔が格子定数となります。
分光条件の式も違いますので、面に対して入射角と回折角が違ってもかまいません。
002317NGNG
>>21
「やっぱ管じゃないよね」っていったのは、19の「計数管っていわないという気がします」に合いの手を打ったつもりで書きました。
判りずらかったとは思いますが・・・

ところで、文を読むには、EPMAを良く使われているみたいなので、お聞きしたいのですが。
「EDX」と聞いたら「EDXのEPMA」の事だと思ってしまうんでしょうか?
もしそうだとすると、分光装置専門の私としては心外なんですが・・・

ディテクター価格の話ですが、私の言ってた奴はディテクター単体で100万切っていたはず。
00247NGNG
話題が膨らんでとても楽しいです。

>>19
カリティだと計数管になってました。
原理から見ると、管じゃない(ガラスチューブに電極を取り付けたものじゃない)んだろうな、とは思うんですが、
如何せん、実物を見る機会が無いもので。

>>21
確かにXPSに比べると、分析深さは3桁近く違う(XPS→数nm、EPMA→数μm(ブルーム分))わけですが、
バルクという表現は、金属屋の感覚だとちょっと引っかかりますね。
XRD、XRFでさえ、バルクとは...
トン単位のインゴットを扱う連中の感覚とは、ちょっと違う世界のようですね。
私は実験溶解炉を扱うことが多いので、キロ単位ですが、感覚は、やっぱりずれてるようです。

あと、分析領域の話は知りませんでした。
WDXの担当オペレータに、試料面の平坦度はやかましく言われたことがあったんですけど。

>>22
え〜と、UPS辺りになると、
「エネルギーが低い励起になるから、外の状態(価電子とかのへん)は良く分かるけど、中の状態(内殻電子→元素固有情報)はほとんど分からない」
ぐらいしか理解できていないです。もちろん、使ったことも見たことも無いです。

原理的にエネルギー分解能がXPSに劣るというのはどういう理由なのでしょうか?

放射光というとカレー事件の奴ですね。うちの会社もSpring8の枠を持ってるはずなんだけど、
お世話になったことはまだないです。


回折格子の方はgridの意味だったんですか。私はてっきりlatticeの方かとばかり。
実物を見るチャンスも無いんで、ずっと勘違いしてました。聞いてみるものですね。


>>23
え〜と、これは私に限らず、大多数の金属屋は、EDXと聞くとEPMAのEDX、
それもSEM(TEMのケースもあるけど)に組みこまれたものをイメージすると思います。
WDXも同じく。
で、SEM組みこみ型のEDXがEPMAの一種であるということを認識してない人間も何割かは居そうな気がします。
その辺りの事情が反映されてるのが>>7の書き込みなわけですね。
0025夏厨17号NGNG
マーズパスファインダの話は
ttp://acept.la.asu.edu/PiN/rdg/pixe/pixe.shtml
に詳しくかいてありました。
アリゾナ州立大っていえば
ジェームズ・メイヤー先生や (LEEMで有名な)バウアー先生がいらっしゃる
ところですね。
002621NGNG
>>23
一応金属屋ですけどEDXをEPMAと言うのは抵抗あります。
理由は、試料電流をあまり変えられない。エネルギー分解能が低い。
とかです。
実際の使い方はSEM-EDXでは簡単なものを
WDXはより精密な分析を行う時に使ってます。

> 私の言ってた奴はディテクター単体で100万切っていたはず。
ずいぶん安いねェ

>7
バルクと言ってるのはXPS、SAM、SIMSの分析に較べ
深さ方向に厚みがあるという事や、ビーム径より分析領域が広い
という事を強調するために使ってます。
見えない(見てない)所も分析領域に含まれるから
解析に気をつけるようにってことです。
0027名も無きマテリアルさんNGNG
ていうか結局1はわかったのか??
0028名も無きマテリアルさんNGNG
わからんだろうね
00291NGNG
わっかちゃいねーのはおめーだろうがぁ
しったかしてんなよこのドキュンどもが
おまえらを試したんだよ
00307NGNG
>>29
言い種はともかくとして、俺は勉強になったから良かったよ。
ありがと。
0031名も無きマテリアルさん01/09/04 01:09ID:hVt0c/QQ
ESCAは商品名でXPSが学術名
EPMAもそれに準ずる装置名
で原理はEDXかWDXのような気がします。
実際上はSEMにはEDX、EPMAにはWDXと
なっているみたいですね。こんな
アルファベットの羅列で解る人にしか
解らない分野での商品名と原理名が
錯綜しているような気がします。
0032名も無きマテリアルさんNGNG
確かに複数のWDXが付いた装置をEPMAとして売ってるのが一般的だよね。
本来の意味とは違うけど日本じゃそれが当たり前になってる。

ところでウチの会社じゃEDS,WDSってよぶけど、
EDX,WDXって呼ぶ方が一般的なのかな?
0033名も無きマテリアルさんNGNG
勉強になりました。2ちゃんとは思えない。
あげときます。
0034名も無きマテリアルさんNGNG
深い見識ありがと〜。
>>31
酔っぱらって、無意識に私が書いたのかな?
と思ってしまいました。
0035名も無きマテリアルさんNGNG
         ▲              
      /ハハハ\           
    ./      \
   /   _   _ \  
  |   ⊂・⊃ ⊂・⊃  |
 (|.    ∴  ∪ ∴ |    / ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄
  .\      <=>  /  <  >>4 最初に誘拐しようって言ったのは藤木君だろ
    \_____/     \________________________
                                      __   
                                     /    ̄ ̄ー―-_
                                     )           /
                                     |\|\|\___イ
                                     | /\  /\lllll|
                                       | /・\ /・\ |
                                     |   ̄/、  ̄ ̄  )
      ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄\   |    ̄     /
     永沢君だって賛成していたじゃないか(泣    > ヽ  <三>  /
     ___________________/    ヽ    /
                                        \/

         ▲              
      /ハハハ\           
    ./      \
   /   _   _ \  
  |    ⊂⊃ ⊂⊃  |   / ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄
 (|.    ∴  ∪ ∴ |   | そうやってすぐに自分の責任から逃れようとする。
  .\      <=>  /  <  やっぱり君は卑怯者だな。
    \_____/     \________________________
0036名も無きマテリアルさんNGNG
>>32
うちはEDSだな
0037あるケミストさんNGNG
>32
うちの会社の上の人は、EDAX(エダックス)と読んでいる。
”コピー取って”を、”ゼロックス取って”って言うのと同じだな。
0038山口くんNGNG
EDAX(エダックス)ってのは製品名だよ。。。
0039あるケミストさんNGNG
EDAXは、会社名だよ。製品名は、イーグルとかそんな名前がついてたと
思うよ。
0040山口くんNGNG
会社名でもあり製品名でもある。まさかそんな貧相な指摘うけるとは思わなかった
もんでね。。。
0041X線装置屋NGNG
Mars Pathfinder に使った検出器の話はメーカーのHP見るといいよ。
http://www.amptek.com/press.html

普通のSi(Li)といわれるタイプのSSDは厚さ5mmほどある結晶を切り出してLiを蒸着し、
高電圧をかけながら百数十度に昇温して一ヶ月待つ。その間に電圧制御も必要。
一方、火星に行ったタイプの検出器はICと同じプロセスで普通のSiウェハから作ったただのPIN
ダイオードだから逆バイアス印可時の空乏層の厚みを大きく取れない。だから、低エネルギーでは
それなりに使えるけど15keV以上では使い物にならない。そのかわり、うんと安い。
0042職場に1台欲しい・・・NGNG
ビームスポット径に対して二次電子と特性X線の発生する範囲って少し違うはずですが
SEM+EDX装置でマッピングした場合、そのへん(画面上位置の整合性)はちゃんと補正されている
ものなのでしょうか?

ま、ウチでやる程度の分析ではそこまで気にする必要は無いかもしれないですが・・・

0043ageNGNG
EPMAみたこと無いヤツが書いているんじゃないのか?
0044名も無きマテリアルさんNGNG
SHIMADZU製EPMAをオペレーターとして扱った事がある人いますか?
結晶交換中に分析停止を行った実例ってありますか?
0045名も無きマテリアルさんNGNG
>>42
特性X線の方が発生ボリュームはかなり広く、励起電圧に比例
しています。マッピングはあくまで定性的な情報なので、補正までは
難しいでしょう。加速電圧、材料の平均原子番号、X線取り出し角など
全て計算すれば可能かもしれませんね。
0046名も無きマテリアルさんNGNG
>42
基本的にはEPMAのマッピング付属ソフトでは補正してないと思います。
ビーム径に対して、X線発生範囲は相当広い(ビーム径1ミクロンに対して、
発生深さが十ミクロンオーダー、半径も5ミクロン以上?>JEOLの古ーいやつ使った感覚)
ですが、イメージングの場合、差分しか見ませんので通常問題はないと思われます。

私の場合には、イメージングの中の数点をちゃんと定量して、比例計算して
手動で補正かけてます。
004742NGNG
>45,46
ありがとうございました。
月末に安いのを購入することになったので、入荷したら色々と試して
みようと思います。
0048名も無きマテリアルさんNGNG
0049名無しさんNGNG
          / ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄\
Λ_Λ  | 君さぁ こんなスレッド立てるから          |
( ´∀`)< 厨房って言われちゃうんだよ             |
( ΛΛ つ >―――――――――――――――――――‐<
 ( ゚Д゚) < おまえのことを必要としてる奴なんて         |
 /つつ  | いないんだからさっさと回線切って首吊れ     |
       \____________________/

(-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ…
(∩∩) (∩∩) (∩∩)

(-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ…
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(-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ…
(∩∩) (∩∩) (∩∩)
0050山崎渉NGNG
(^^) 
0051名も無きマテリアルさん NGNG
(^^)
0052名も無きマテリアルさんNGNG
【茅ヶ崎ちゃんねる】
 http://jbbs.shitaraba.com/travel/1213/
0053山崎渉NGNG
(^^)
0054山崎渉NGNG
   ∧_∧
  (  ^^ )< ぬるぽ(^^)
0055山崎渉NGNG
━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅(^^)]━―━―━―━―━―━―━―━―━―
0056山崎渉NGNG
━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅(^^)]━―━―━―━―━―━―━―━―━―
0057山崎渉NGNG
     ∧_∧
ピュ.ー (  ^^ ) <これからも僕を応援して下さいね(^^)。
  =〔~∪ ̄ ̄〕
  = ◎――◎                      山崎渉
0058名も無きマテリアルさんNGNG
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0061名も無きマテリアルさんNGNG
age
0062名も無きマテリアルさん2005/07/01(金) 22:19:58
>>40
貧相な指摘してんのはお前だろ
0063名も無きマテリアルさん2005/07/07(木) 19:03:11
蛍光X線分析とは違うんですか?
0064名も無きマテリアルさん2005/07/07(木) 23:49:20
>63
SEMについてるのがEDXって言うんじゃないですか?
0065名も無きマテリアルさん2005/08/05(金) 22:37:41
>>40
寡聞ながらEDXという会社を知りません
僕が知っているEDXメーカーといえば
Roentec, PGT, Oxford I., GSI, Horiba, Norlan, あとEDAXでしょうか
0066名も無きマテリアルさん2005/09/17(土) 10:15:18
>>65
堀場はいつのまにかEDXやめて蛍光X線に呆滓してるみたいだよ
まあ、日立も検出器だけ買ってきてEDX機能はSEMと融合させてるみたいだし
日立が買ってくれなきゃ堀場もEDXやる意味ないよね
0067名も無きマテリアルさん2005/12/30(金) 19:05:46
>>65
日本電子も作って自社のSEMに取り付けているよ
OEMかもしれないが、自社製と言っている
あまり売れてないかな?
0068名も無きマテリアルさん2006/02/04(土) 14:36:37
>>65
RoentecもPGTもブル公の軍門に下ったよな
0069名も無きマテリアルさん2007/02/05(月) 00:21:00

  (  ´)`Д) )) < ハァハァ こんな所でダメェ
  /  つ つ  < 大丈夫だって,こんな過疎スレ誰も来ねえよ
(( (_(_  ノ ノ
  し∪ ∪

 Σ( ゚д゚ )゚д゚)
  /  つ つ
  (_(_  ノ ノ
  し∪ ∪

  ( ゚д゚ )゚д゚)
  /  つ つ
(( (_(_  ノ ノ
  し∪ ∪
0070名も無きマテリアルさん2007/02/18(日) 14:09:26
あげ
0071名も無きマテリアルさん2007/02/19(月) 01:12:05
>>1
秋葉原にあるな。。。
あそこの地下の駐車場が前カノとの別れでしたTT
0072名も無きマテリアルさん2007/03/12(月) 19:14:20
なんだなんだ?よっぽど恥ずかしいことでも書いたのか?
0073名も無きマテリアルさん2007/03/12(月) 19:14:55
↑ ゴバク
0074名も無きマテリアルさん2007/10/28(日) 21:27:18
最近はシリコンドリフトのEDSが流行っているけど
じっさいどうなの?
0075名も無きマテリアルさん2007/10/28(日) 23:13:00
SEM用にはもはや何の問題も無いんじゃないか?
高計数に絶えるし、P/Bも良くなったし
TEMには厚さがネックになるけど
0076名も無きマテリアルさん2007/11/03(土) 02:31:13
SEM用だと検出面積は普通10mm2だと思うけど
30mm2のデメリットは何かあるのでしょうか。
カタログ上のスペックでは分解能が少し落ちるくらい。
少し太くなって邪魔なのかな。
散乱電子の影響を受けやすいとか?
0077名も無きマテリアルさん2007/11/06(火) 09:19:27
軽元素用の窓が対応しないと思うが
0078名も無きマテリアルさん2007/11/06(火) 22:20:43
目立ったデメリットは分解能と価格でしょ。
Be、B付近の相対感度が悪いとの話もあるね。
窓が広いだけにジオメトリやコリメータの設計によっては
散乱電子(?)による励起が原因で試料室内の元素が検出されてしまうことも
あながち有り得ないとは言えないけれどね。
0079名も無きマテリアルさん2007/12/25(火) 00:49:25
>>77
30mm2でも一応あるみたいだよ。
性能的には劣るようだが。
0080名も無きマテリアルさん2008/01/01(火) 00:55:03
Si(Li)用じゃないの?
0081名も無きマテリアルさん2008/01/05(土) 02:41:34
わかってる?
0082名も無きマテリアルさん2008/01/13(日) 18:03:50
> 目立ったデメリットは分解能と価格でしょ。
> Be、B付近の相対感度が悪いとの話もあるね。
5年位前のカタログもしくは製品見てない??
この1-2年で無茶苦茶進歩してるよ
0083名も無きマテリアルさん2008/01/24(木) 22:05:19
この一年に発売されたSDD機は30mm2でも軽元素が十分見られるよ。
高エネルギー側は原理的に感度の損失があるけど
普通の用途では液体窒素で冷やすタイプを選択する理由は無いでしょう。
0084世界平和に’Home2008/01/25(金) 11:16:21
http://profile.myspace.com/index.cfm?fuseaction=user.viewprofile&friendID=78312205
0085名も無きマテリアルさん2008/04/24(木) 03:10:31
>>83
メーカーはどこが良いの?
0086名も無きマテリアルさん2008/04/26(土) 19:16:19
チップの出所は限られているから
性能よりもソフトウエアの使い勝手で決めたらよいのでは?
つまりは「好きずき」
0087名も無きマテリアルさん2008/04/29(火) 11:36:33
SEM業者の人に聞いてみたら,液体窒素レスの検出器についてるチップは大体同じ
ところが作ってるそうです.
性能的には変わらないから,>>86さんのいうとおりだと思います.
あとは,業者の対応の良さとかでいいんじゃないでしょうか.
0088名も無きマテリアルさん2008/04/29(火) 20:56:19
じゃ取り敢えずB社は無しか
0089名も無きマテリアルさん2008/05/01(木) 15:25:12
つい最近までチップは南独逸製が殆どだったけど
ここへきて新大陸製廉価品や連合王国製が出回り始めた模様
でも、まあ、いちばんの違いはソフトかな
0090名も無きマテリアルさん2008/05/01(木) 21:53:57
ソフトか
機能的に特徴あるのはNだろうな
0091名も無きマテリアルさん2008/05/16(金) 22:38:16
フィリの時代からE社のを使ってるのですけど
最近勢いが無いようですね
0092名も無きマテリアルさん2008/05/20(火) 01:01:55
もう駄目なんじゃね?
0093美乳信者 ◆GEyJnSNtw6 2008/05/26(月) 12:04:18
  _  ∩
( ゚∀゚)彡 おっぱい!おっぱい!
 ⊂彡
0094名も無きマテリアルさん2008/05/26(月) 22:55:34
ん?おっぱい?
0095名も無きマテリアルさん2008/05/28(水) 22:49:44
いっぱい!いっぱい!
0096名も無きマテリアルさん2008/05/31(土) 00:22:19
>>90
Nって安田倉庫の?
0097名も無きマテリアルさん2008/06/13(金) 00:23:44
Nね、一見して操作性というか取っつき難そう。
0098名も無きマテリアルさん2008/06/21(土) 20:30:39
で結局どこのが良いの?
0099名も無きマテリアルさん2008/08/31(日) 13:45:32
一番一般受けしそうなのは堀場−オックスフォードかな。
特にWDSとシームレスに連携出来るのが良い。
画面のセンス(色合いとかの見た目)が良くないけどね。
0100名も無きマテリアルさん2008/09/21(日) 02:49:46
オックスフォードはフローチャート(?)が常に見えているのが嫌だな
じゃま
0101名も無きマテリアルさん2008/09/21(日) 06:42:04
「スイス民間防衛」
「厳選韓国」
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「人気ブログランキング 政治」
「ソフトバンクのブログ」
で検索して、誰か今の日本を救って下さい!
0102名も無きマテリアルさん2008/09/29(月) 01:05:17
>>100
それがウリなんだけどな・・・
見た目に騙されちゃいけない、使いやすいヨ
0103名も無きマテリアルさん2008/10/27(月) 23:30:33
>>98
SDDならブルカーが無難?
出所は同じかも知れないが
なぜかカタログ上の分解能保証値が高い。
0104名も無きマテリアルさん2008/11/05(水) 00:49:55
島津の液体窒素レスEDX購入しましたけど、便利ですよ制御ソフトはオックスフォードと
クロスライセンスらしいので、日立のSEMでしたら違和感無しにつかえますよ。
0105名も無きマテリアルさん2008/11/06(木) 19:13:48
島津・・・
0106名も無きマテリアルさん2008/12/18(木) 19:41:42
スバルのbb
0107名も無きマテリアルさん2008/12/18(木) 21:49:41
NoranのEDSはどう?
取り敢えず機能的には随一の様だけど。
0108名も無きマテリアルさん2009/02/03(火) 23:11:16
やっぱり大手が安心なんじゃない?何かと。
0109名も無きマテリアルさん2009/03/17(火) 20:30:59
老舗Norlanが大手じゃないと??
0110名も無きマテリアルさん2009/07/25(土) 19:06:01
老舗ではあるけど
特に日本国内でのサポート体制はどうなんだろ
0111名も無きマテリアルさん2009/08/05(水) 16:15:17
Noranユーザーですがサポート悪すぎです。多分、人がいないんでしょうね。
0112名も無きマテリアルさん2009/09/08(火) 13:22:45
今度の分析展では
日立/ブルカーとかテクネックス(独自開発?)とか
小さいのが流行ってましたね
性能はどうなん?
0113名も無きマテリアルさん2009/10/15(木) 16:39:33
テクネックスはAMPTEK(http://www.amptek.com/)のやつでしょ。多分・・。
最近の流行ですね。
AMPTEKから買えば、SDDにMCAまで内蔵され+SOFTまでついて$9,900(X-123SDD)です。
欲しくなります。
以前、EDXの修理に時間はかかり、金も高いで大変でした。

0114名も無きマテリアルさん2009/10/22(木) 19:14:25
>>113
それは前からあるやつやろ
0115名も無きマテリアルさん2009/11/08(日) 04:08:43
検出器の先端は、ときどきエアスプレー吹きかけてクリーニングしてあげなよ。
0116名も無きマテリアルさん2009/11/19(木) 14:45:47
> 113
AMPTEKはパーツメーカーなので、セットメーカーが利用。ユーザーが部品買って作れる?
一般的には、ED-XRF用に中国メーカーがRoHS用にSi-PINだが沢山買ってる。

ED-SEMは安いし、手軽でいい。EDS部の値段は昔の1000万が、今では半値近いもんね。

ただ、やっぱり分解能の悪さは時として致命傷。WDSに比べりゃ軽く1桁以上も悪い
し、高エネルギー側だとなお更。重なって見れない元素組み合わせが沢山ある。
感度も超軽元素なんてEDSは悲惨なんで、目的によっては使い物にならない。

反面、熱に弱い試料は、WDSは焼ける。そんな試料は有機系が多いのでマトリックスも
単純な場合が多く、分解能が余り欠点にならずEDSならでのデータが採れる。

細かな得手不得手はまだまだあるが、こんなもんでどう?
0117名も無きマテリアルさん2010/07/01(木) 12:51:30
個人なのですが、SDDデバイス単体で入手は可能でしょうか。
メーカー(代理店)と大体の価格が分かると助かるのですが。。
0118名も無きマテリアルさん2010/07/04(日) 11:17:03
デバイスってシリコンのチップだけのこと?
年間100個くらい買うなら売ってくれるよ
0119名も無きマテリアルさん2010/07/04(日) 14:05:20
あー、サンプル的に2-3個は無理ですかね。
さすがに裸のチップでは怖くて使えません。
何らかのパッケージか土台は欲しいです。

あと便乗ですが、ペルチェで冷やせば取りあえず数kevくらいのX線の
カウントくらいはできるような、安価なX線フォトダイオードって無いでしょうか。
正確なエネルギー計測は不要です。
0120名も無きマテリアルさん2010/08/02(月) 15:39:20
安価っていくらのこと?
数万円ならある
数千円ならありそう
数百円ならあるかもしれない
値段によって性能(受講面積&分解能)と苦労するレベルが異なる
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