半導体のリゾについて

[0001 名無しさん＠１周年 NG NG]

PMMAを除去させる薬品はトリクロ、アセトン以外なにかありませんか？

[0002 名無しさん＠１周年 NG NG]

プラズマアッシャー

[0003 <font color="#FF68DD">ど</font> NG NG]

ど

[0004 名無しさん＠１周年 NG NG]

PMMAじゃなくZEP520（同じくEBレジスト）の話ですけど、
PMMAもZEPも似たようなものだと思うので。
まずジエチルケトン（DEK,正式名は３-ペンタノン）。
これが推奨品らしいです。
あと0-ジクロロベンゼンなんかでも結構剥がれます。
まあ、基本はアセトンで超音波洗浄ですが。