リソグラフィーについて語りましょう
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00011
NGNGhttp://science.2ch.net/test/read.cgi/bake/992368688/l50
ここで今、フォトレジストの話で盛り上がっていますが、スレタイとはちょっと別の方向に話が流れています。
そこで、ここに新しいスレを立てさせてもらいました。
材料の話が中心だったんですが、デバイスや光学系の話も議論されています。（結構ハイレベルだと思います）
そんなわけで材料屋さん、デバイス屋さん、光学系屋さん、装置メーカーさんなどのリソグラフィー技術に携わる方の参加をお待ちしております。
それぞれの視点の議論や質問で盛り上げましょう。
0050名も無きマテリアルさん
NGNG成膜の話であれば、もちろん真空のほうが効率がいいです。
42以前で話していたのはエッチングの話で、真空中やれば大気中で
やるよりもはるかに付着物は少ないですよ。
有機物のアブレーションですが、すでに出ているように結合エネルギーが
切れるほどの短波長かまたはフェムト秒のような短ぱるすであれば
なかなかきれいにアブレーションできます。
それ以外だと、加工部周辺が炭化しちゃいます。
それから、フェムト秒でアブレーションした際には有機物の組成があまり
崩されずに飛び散らすことが出来るため、有機物のデポジションが出来る
という素晴らしいこともあります。
0051４２
NGNGなりました。ありがと。
しかし、コスト的にはどうなのだろうか
00521
NGNG酸素存在下ではＦ２の波長付近の透過率が1%以下になってしまいます。(Schumann-Runge帯より）
大気中では、ＶＵＶ光が吸収されてしまうので、露光光源と基板付近では光強度に差が出てしまうと思います。
0053名も無きマテリアルさん
NGNG00541
NGNGドライエッチングの方がウェットよりもパターンがきれいになりそうですよね。
ドライエッチングのガスって酸素とテトラフルオロメタンの混合ガスですか？
00551
NGNGX線やEBは高圧水銀灯以前から注目されていましたからね。
X線やEBで感光させることってできるのかな？
0056名も無きマテリアルさん
NGNGEUVもそうですなぁ・・
>>55
まあ、X線やEBの場合は「感光」と呼ぶのかどうか微妙ではあるけどな
0057名も無きマテリアルさん
NGNG自分は、日経エレクトロニクスと日経デバイスを読んでます。
0058名も無きマテリアルさん
NGNG解像度がついていってないって話で、
根本的にわかってないのかもしれないんだけども、
普通に液レジをフィルム化したら駄目なのかなあ。
某機械メーカーでは、学術レベルでは発表があったって
言われたんだけども。担がれたかなあ。
0059名も無きマテリアルさん
NGNG論文書いていいですか？
00601
NGNGASMLのHPなんかはどうでしょうか？
ここに直リンすときますね。
http://www.asml.com/NASApp/asmldotcom/show.do?ctx=6018
0062名も無きマテリアルさん
NGNG塗布はどうするんかい。銀河の回転でスピンコートするのか？
0064名も無きマテリアルさん
NGNG00651
NGNGみなさん、今年もよろしくお願いします。
ということでage
00661
NGNG0067名も無きマテリアルさん
NGNG超遅レスだがエッチング知らなさすぎ。
エッチングで使われているガスが何種類あるか勉強してくれ。
CF4/Ar/O2プロセスは選択比が1に近い。こんなんでVia切れる訳ないだろ。
行程ごとに全部使いわけんだよ。
>>66
ﾊｧ。こんな過疎板で釣りしても釣果よくないよ。
http://www.nikon.co.jp/main/jpn/profile/technology/immersion/
0068名も無きマテリアルさん
NGNG0069名も無きマテリアルさん
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これを見た人は確実に【不合格】です。これをコピペでどこかに３回貼れば回避できます。
これは本当です。やらないと一年無駄になります
0070名も無きマテリアルさん
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これを見た人は確実に【合格】です。
0071名も無きマテリアルさん
NGNG00721
NGNG>>67
私は材料屋でしかも素人なので、プロセスにはそんなに詳しくはないので
そこらへんは大目にみてやってください。ところで、デバイス屋さんですか？
まあ、半導体製造用ガスでも多くの開発があるということを聞いたことはありますが。
>>68
あれは、私も読みました。色々勉強できたと思います。（てか、結構常識的なことばかりですか？）
00731
NGNGリソグラフィーだけではなく、半導体製造工程全体を見なくてはならないということがわかりました。
0074名も無きマテリアルさん
NGNG0075名も無きマテリアルさん
NGNGArFの液浸でウッドボールなの？
0076名も無きマテリアルさん
NGNG0077名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://www.edresearch.co.jp/FocusRepo/hikaririso.html
こんなの見つけたけど、ボリュームが少ないのが気になるので。他のやつ紹介してつかあさい。
予算10ﾏｿぐらいまでで。
0078名も無きマテリアルさん
NGNG0079名も無きマテリアルさん
05/01/21 06:54:54構造のあるデバイスの表面だけにマスクをつけたいのだが。。。
無機レジスト・・これに詳しい方おらんかね〜
0080名も無きマテリアルさん
05/01/22 08:18:480081名も無きマテリアルさん
05/01/30 11:26:01ステンシルマスクつかったら?
0082名も無きマテリアルさん
05/01/30 23:05:54集積回路プロセス技術シリ−ズ 産業図書
半導体リソグラフィ技術 ￥3675
どうだ？
008379
05/01/30 23:15:11そうなりますか。
蒸着物の回りこみがちょっと気になるんだけど、その方向で今動いてます。
レスありがとうございます。
0084名も無きマテリアルさん
2005/12/26(月) 20:42:210085名も無きマテリアルさん
2006/03/15(水) 23:26:470086名も無きマテリアルさん
2007/03/23(金) 21:39:43【あだ名】１
【性別】１
【年齢】１
【身長】１
【体重】１
【有名人で言うと誰に似ているか】１
【住んでる所】１
【趣味】１
【特技】３
【口癖】３
【好きな食べ物】３
【好きな人】１
【好きなスポーツ】１
【好きな映画】１
【好きなアニメ】１
【コンプレックス】１
【主な仕事】１
【秘密にしている事】１
【顔写真】１
【ブロマイド】１
【イメージ顔文字】１
0087名も無きマテリアルさん
2007/04/08(日) 00:00:380088名も無きマテリアルさん
2007/05/28(月) 17:16:040089名も無きマテリアルさん
2007/07/05(木) 23:13:080090名も無きマテリアルさん
2007/07/15(日) 06:35:210091名も無きマテリアルさん
2009/07/15(水) 12:36:250092名も無きマテリアルさん
2009/07/25(土) 22:29:38http://namidame.2ch.net/test/read.cgi/hidari/1225537555/
0093cHQxDMuG
2009/09/15(火) 23:26:39
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