レーザ当てる位置を上から下じゃなくて、下から上にあてる方法にすれば、飛沫はとびちらないね。
でも、今更位置付け替えるなんてコスト的に不可能っぽいですね。

>>42さん
真空中でもレジスト等の物質はアブレーションされるのですか?
光化学反応で結合エネルギーを切るという話だけじゃなく、空気中の酸素と結びついて燃えるという形をプラスした方が
方がアブレーションレート稼げそうだと思うのですが。