久方ぶりに覗いてみました。
レーザアブレーションによる飛沫物が出るというお話ですが、ガスでパージしてしまえばいのではないでしょうか？
まぁ、この辺の話はとっくに議論されていると思うのですが、疑問に思ったので一つ。

それと、NIKONがArF液浸露光の開発を決定しましたね。
http://ne.nikkeibp.co.jp/NMD/