i線、g線から来る露光技術の歴史上、
光源がレーザにかわってもその歴史背景から
具体的な用途用法は変わらなかった。とも考えられるのではないでしょうか？
コストに関しては、レーザアブレーションだとエネルギーをあげるだけでいいので、
エッチング溶液を使う化学増幅型よりも安いと思います。
ガスの問題はありそうですね。