無学で申し訳ないが、リソグラフってなんでわざわざ感光させてるんでしょう？
フォトンエネルギーのでかいKrF、ArF、F2ならダイレクトで
レーザエッチングすればいいんじゃないかって思うのですが。
ダメなんですかね？