>>23
>そういう方法もあるんだけど、僕の言いたかったのは電子を面で放出するものです。
面の投影露光が出来るものが、世の中では開発されつつあるらしい。
へえー、そんな方法も開発されてるんですか。
ビームの形状を変える方法は知ってたんですが。
>ただ、EB露光には光と違って近接効果の問題がありますが・・
ここらへんもレジストで多少は解決出来るのではないかという気がする。
レジストを2層にする方法ですか？
近接場効果はレジストの中で起こる問題ですからね。

>F2が一部実用化されているというのははじめて聞きました。
どこらへんで実用化されてるんでしょうか？
はい、これは今年の2月頃にどこかで読んだ情報です。
ソースを出したいんですが、今見つかりません。
見つけ次第、ソースを貼ります。