>>22
＞それって電子線20本使った露光方法ってことですか。
そういう方法もあるんだけど、僕の言いたかったのは電子を面で放出するものです。
面の投影露光が出来るものが、世の中では開発されつつあるらしい。
ただ、EB露光には光と違って近接効果の問題がありますが・・
ここらへんもレジストで多少は解決出来るのではないかという気がする。

F2が一部実用化されているというのははじめて聞きました。
どこらへんで実用化されてるんでしょうか？