EBリソって技術としてはだいぶ確立されてきているような感があるし、
問題の生産性も面電子源なんかが出てくれば改善されていくのでは
ないかと思うんですが。
F2やEUVなんかは実現されるのかな？

素人なんでよくわからんのですが。