>>1さん　コピペお疲れ様です。

露光機屋さんが覗いたら聞きたいのですが、

液浸（Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ）露光は結局いけそうなのでしょうか？

ＡＳＭＬの先日の発表では、ＴＡＲＣを使えば、既存レジストを
そのまま使えるらしいですが。。。そうだと、我々としては楽です。