例えば、真空蒸着装置で、ターゲットのボートの脇とかに、真空シリコングリスが付いちゃったとして、
成膜したら、膜中にはシリコンも入っちゃいますかね？？

成膜するとき水素（ラジカル用）とインジウムしか使ってないはずなのに、ＸＲＤにかけると、謎のピークが出てるんです。。。
Ｈ、Ｉｎ、Ｏ以外の成分が入った化合物ができてると思われます。
ちなみに石英管を使ってます。