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SiONの熱伝導率・熱膨張係数って

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0001名も無きマテリアルさんNGNG
知りたいのですが、いろんな文献調べてものってません。
SiO2やSi3N4ならあるのですけど。
分かる方教えてくれませんか?
0002名も無きマテリアルさんNGNG
俺も知りたいっす
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