CMP（平坦化）装置について

**名も無きマテリアルさん** · NG

だれかCMP装置業界の人いたら教えてください。
たとえば開発の状況であるとか、シェアについてとか。
自分はCMPのプロセスに興味があるんですけど、実務経験がないと
どこも採ってくんないみたいで…。

NG

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**えーっと** · NG

1位 AMAT(60-70%) 2位荏原製作所　3位 IPEC その他（LamResearch、

東京精密、他)

AMATは従来回転定盤方式、IPECはOrbital方式、LamはLinear方式。

後の方ほど革新的と言われている。特に300mmウェハ等に有利。

CMPは遊離砥粒研磨(粉の入った研磨剤使用)だが、固定砥粒方式(サンド

ペーパみたいなので研磨）というのも注目されている。AMATが熱心。

これになると装置が大幅に変わる。

銅配線は来年あたりから普及するので、各社シェア争いが盛ん。

装置の性能よりもサービス体制の充実度などが選考のポイントになる。

**名も無きマテリアルさん** · NG

> 自分はCMPのプロセスに興味があるんですけど、
> 実務経験がないとどこも採ってくんないみたいで…。

そうでもないよ。

**名も無きマテリアルさん** · NG

LamResearch
台湾でシェア拡大中！！

**やくると** · NG

東京精密って、まだやってたんだ。

◆83hcduWk · NG

**名も無きマテリアルさん** · NG

http://page.freett.com/yasudadake/kaonono.mpg
http://csx.jp/~yuki_nono/mpg/vtr_onegai.mpg

**名も無きマテリアルさん** · NG

http://page.freett.com/ee2001/hinamatsuri.mp3

**名も無きマテリアルさん** · NG

http://page.freett.com/mouwakaranyo/18.mpgね

**名も無きマテリアルさん** · NG

http://big.freett.com/mouwakaranyo/18.mpg

**test** · NG

**test** · NG

◆NL9zz1tw · NG

**名も無きマテリアルさん** · NG

もしかして…

**名も無きマテリアルさん** · NG

なんだよ、みんな見られねージャねーか

**あぼーん** · NG

あぼーん

**山崎渉** · NG

（＾＾）　

**山崎渉** · NG

（＾＾）

**山崎渉** · NG

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**あぼーん** · NG

あぼーん

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**あぼーん** · NG

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**あぼーん** · NG

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**あぼーん** · NG

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**名も無きマテリアルさん** · NG

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**名も無きマテリアルさん** · NG

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**名も無きマテリアルさん** · NG

>>1
まずは自分を磨け。

**Nanashi_et_al** · NG

しらんne

**名無しさん＠３周年** · NG

CMPに使う研磨剤ってどこがシェア高いの？
海外から色々売り込みにくるので、誰かお願いします！

**名も無きマテリアルさん** · NG

『キャボット』
かな～??
日本だと、日立化成、JSRあたり

**sage** · NG

ロデール使用

**名無しさん＠３周年** · NG

31,32さんに感謝します

**名も無きマテリアルさん** · NG

ﾛﾃﾞｰﾙはﾊﾟｯﾄﾞでは?

**sage** · NG

少量ですが出荷してます

**名も無きマテリアルさん** · NG

うんこーくれ！！！！！

**名も無きマテリアルさん** · NG

ロデール以外でいいパッドってありませんか？

**名も無きマテリアルさん** · NG

東京精密のチャンプってどうよ？

**名も無きマテリアルさん** · NG

sage

**名も無きマテリアルさん** · 2005/07/09(土) 23:47:47

>>37
残念ながら有力候補なし。
何で均一性悪いの？？？？

**774&** ◆FJotLDPJXU · 2005/07/11(月) 07:13:00

＞CMPに使う研磨剤ってどこがシェア高いの？

ロデールだろう。ロデールニッタって言う商社を通てして販売してている
後はサイトン　ここはロデールより安い
あと日産化学もある

＞ＰＡＤ
大阪の千代田っていう商社が売ってる第一レース社のPADも悪くない
あと繊維やってるユニチカとかやってたかも？

**774&** ◆FJotLDPJXU · 2005/07/12(火) 10:56:53

ロデールは奈良県の工場にデモ装置とかがあり
実験も可能

**名も無きマテリアルさん** · 2005/07/14(木) 12:32:24

>>41
ロデールニッタがパッドのメーカーです。

（ニッタ本社とロデール社との合弁会社だったと思う。
ちなみにニッタ社はベルトメーカーであり、自動車学校や牧場を経営している。
工場見学した際、牧場で作っていたバターをプレゼントされた）

ロデールアジアだったと思うけども、そこが販社となって販売している

**名も無きマテリアルさん** · 2005/07/14(木) 12:38:18

ちなみに工場見学したほうは岐阜の工場の方。
ニッセンていうカタログ通販の配送センターの隣の敷地に工場を構えてパッドの生産をしている。

立ち上げ当初はロデール本社から立ち上げ要員として人が来ていた様だ。

岐阜の工場にはデモ装置はなかった。

連続カキコスマソ

**名も無きマテリアルさん** · 2005/07/15(金) 00:06:13

>>30

キャボットが世界で8割のシェアといわれている

しかし、インテルはフジミインコーポレットを提携会社としているらしい。
最近までフジミの株価はすごかったが最近は落ち着いたようだ

**名も無きマテリアルさん** · 2005/07/19(火) 19:27:34

Ａ社は最低　説明する営業がまったくわかっとらん　
Ｅ社がまともである

**名も無きマテリアルさん** · 2005/08/04(木) 22:03:03

A:Applied Materials
E:EBARA

**名も無きマテリアルさん** · 2005/08/05(金) 18:21:19

>>45
うちには世界シェアの5割がﾌｼﾞﾐだって言ってたけど・・・・

**CMPリング** · 2005/08/11(木) 17:23:02

ＣＭＰリングについて教えて下さい。
ＣＭＰリングは皆さん純正品を購入しているのでしょうか？
それともほとんどセカンド品を購入しているのでしょうか？
セカンド品はどんなところがありますか？どこのがいいですか？シェアは？

**名も無きマテリアルさん** · 2005/08/21(日) 20:39:15

>>49
リング？
リテーナリングのこと？

**CMPリング** · 2005/08/23(火) 13:43:59

そうです。リテナーリングです。
リングの供給状況が知りたくて。
やっぱりアプライドとか荏原の純製品ですかね。
レスお願いします。

**774&** ◆FJotLDPJXU · 2005/08/24(水) 10:48:51

Ｋセラでいいと思うが図面ある？

**CMPリング** · 2005/08/24(水) 15:00:00

すいません。PPSだったら、どこがあります？

**名も無きマテリアルさん** · 2005/09/26(月) 22:15:45

>>48
層間絶縁膜用はキャボットでしょ
（と聞いたが）

スラリーといっても研磨する膜で種類が変わってくるからね

それでシェアに違いが出てくるんじゃなかろうか？

**名も無きマテリアルさん** · 2005/09/26(月) 22:22:28

うちは荏原の純正を使ってた
その中でもいろいろあるようだが・・・・

図面があってもどのくらいの誤差まで作りこまなきゃ
行かんのかでまた話が変わってくるよね

下手するとウエハ脱落するし

K精きなんかが作ってそう

工場なんでいきなり評価がまったくできんよ

**名も無きマテリアルさん** · 2006/05/31(水) 03:59:06

CMP部門に採用になった。

**名も無きマテリアルさん** · 2006/06/02(金) 00:53:51

>>56
気の毒に・・・・・・

CMPと言う技術はしばらくはフラグシップ的な花形要素技術だが
なかにいる人は・・・・・
無理はするなよ

**名も無きマテリアルさん** · 2006/06/02(金) 22:36:56

CMPがどんな役割のするのがいまいち不明なのですが
プロセスに詳しい方教えて下さい
ウェハーの細分化？に必要らしいですが

ようは研磨してウェハーには何のメリットがあるのでしょうか？

**名も無きマテリアルさん** · 2006/06/04(日) 04:22:43

>>57
中にいる人はどうなの？
教えて。

**名も無きマテリアルさん** · 2006/06/04(日) 07:13:50

コロイダルシリカまみれ
手はあれるし髪の毛はパサパサになるし